第一章　總則

　　第1.0.1 條潔凈廠房設(shè)計必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、安全適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。

　　第1.0.2 條本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設(shè)計，但不適用于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計。

　　第1.0.3 條在利用原有建筑進行潔凈技術(shù)改造時，潔凈廠房設(shè)計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

　　第1.0.4條潔凈廠房設(shè)計應(yīng)為施工安裝、維護管理、測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。

　　第1.0.5條潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標準、規(guī)范的有關(guān)要求。

　　第二章　空氣潔凈度等級

　　第2.0.1條 空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個等級。

　　空氣潔凈度等級 表2.0.1

　　等 　級 每立方米(每升)空氣中

　　≥0.5微米塵粒數(shù) 每立方米(每升)空氣中

　　≥5微米塵粒數(shù)

　　100級 ≤35×100(3.5)

　　1000級 ≤35×1000(35) ≤250(0.25)

　　10000級 ≤35×10000(350) ≤2500(2.5)

　　100000級 ≤35×100000(3500) ≤25000(25)

　　注：對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計算應(yīng)進行多次采樣。當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的。

　　第2.0.2條潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。

　　第三章 總體設(shè)計

　　第一節(jié)　潔凈廠房位置選擇和總平面布置

　　第3.1.1條潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：

　　一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域;

　　二、應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應(yīng)位于其最大頻風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);

　　三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。

　　第3.1.2條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進行分析比較。

　　第3.1.3條潔凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。 第3.1.4條 潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

　　第3.1.5條 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道(可利用交通道路)，如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。

　　第3.1.6條潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材料。

　　第3.1.7條潔凈廠房周圍應(yīng)進行綠化?？射佒膊萜?、種植對大氣含塵農(nóng)度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。

　　第二節(jié)　工藝布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)

　　第3.2.1條 工藝布置應(yīng)符合下列要求：

　　一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

　　二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

　　三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。

　　四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。

　　五、應(yīng)設(shè)置單獨的物料人口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行清潔處理。

　　第3.2.2條潔凈廠房內(nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔。

　　一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。

　　二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以控制者。

　　三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)車間之間。

　　第3.2.3條潔凈廠房的平面和空間設(shè)計，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進行分區(qū)布置。同時應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。

　　第3.2.4條潔凈廠房設(shè)計必須合理確定各種管線的平面位置和豎向標高。 第3.2.5條 潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施(如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等)的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求。

　　第三節(jié)　噪聲控制

　　第3.3.1條潔凈室內(nèi)的噪聲級，應(yīng)符合下列要求：

　　一、動態(tài)測試時，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。

　　二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于65分貝A。

　　注：(1)由于技術(shù)經(jīng)濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時，噪聲級可適當放寬，但不宜大于75分貝A;

　　(2)上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個工作點人耳位置(人離開)的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。

　　第3.3.2條潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲太級;各頻帶聲壓級值不宜大于表3.3.2的規(guī)定。

　　第3.3.3條潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。

　　第3.3.4條潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。

　　第3.3.5條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。 除事故排風(fēng)外，應(yīng)對潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進行減噪設(shè)計。

　　第3.3.6條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用：

　　一、總風(fēng)管為6～10米/秒。

　　二、無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為6～8米/秒。

　　三、有送、回風(fēng)口的大風(fēng)管為3～6米/秒。

　　第3.3.7條潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不得因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。

　　第四節(jié)　振動控制

　　第3.4.1條潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

　　第3.4.2條對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

　　第3.4.3條精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應(yīng)地氣源進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。

　　第四章 建筑

　　第一節(jié) 一般規(guī)定

　　第4.1.1條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當?shù)撵`活性。潔 凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重。

　　第4.1.2條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100毫基本模數(shù)。

　　第4.1.3條 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)， 并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能(地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計規(guī)定)。 廠房變形縫應(yīng)避免穿過潔凈區(qū)。

　　第4.1.4條 送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾 道或地溝等;穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井。

　　第4.1.5條 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設(shè)計和構(gòu) 造的處理，應(yīng)避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。

　　第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施

　　第4.2.1條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根 據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。

　　第4.2.2條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。 廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室， 可根據(jù)需要設(shè)置。

　　第4.2.3條 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。

　　二、存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按 設(shè)計人數(shù)每人設(shè)一柜。

　　三、盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)一個。

　　四、潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。

　　五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。當僅為100級垂直層流潔凈室時，可改 設(shè)氣閘室。潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。

　　第4.2.4條 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。人員凈化用室和生活用室的布置， 一般按圖4.2.4的人員凈化程序進行布置。

　　第4.2.5條 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人 員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般可按潔凈區(qū)設(shè)計人數(shù)平均每 人4～6平方米計算。

　　第4.2.6條 潔凈工作服室內(nèi)，對空氣凈化應(yīng)有一定的要求。

　　第4.2.7條 潔凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形 狀等待征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料 在傳遞過程中被污染。

　　第三節(jié) 防火和疏散

　　第4.3.1條 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體， 其耐火極限不宜小于0.25小時。

　　第4.3.2條 潔凈廠房內(nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，可按附錄三進 行分類。

　　第4.3.3條 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最 大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3，000平方米，多層廠房應(yīng)為2，000平方米。

　　第4.3.4條 甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室， 其頂棚和壁板(包括內(nèi)部填充物)應(yīng)為非燃燒體。

　　第4.3.5條 在一個防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域 之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小 時，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6小時。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙 應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

　　第4.3.6條 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1小時。井 壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6小時;豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng) 采用相當于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔;穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

　　第4.3.7條 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出 口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個。但符合下列要求者，可設(shè)置一個安全出口：

　　一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過50平方米，且同一時間內(nèi)的 生產(chǎn)人員總數(shù)不用過5人;

　　二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國家現(xiàn)行的《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的規(guī)定 者。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化 路線。

　　第4.3.8條 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏 散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動門。

　　第4.3.9條 當潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗， 其洞口間距大于80米時，則應(yīng)在該段外墻的適當部位設(shè)置專用消防口。 專用消防口的寬度不應(yīng)小于750毫米，高度不應(yīng)小于1800毫米，并應(yīng)有明顯標志。樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽臺，并從二層起向上設(shè)爬樓。

　　第四節(jié) 室內(nèi)裝修

　　第4.4.1條 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當需附加構(gòu)造骨架和保 溫層時。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。

　　第4.4.2條 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求;應(yīng)減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用 于操作;如為抹灰時，應(yīng)采用高級抹灰標準。

　　第4.4.3條 潔凈室的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。

　　第4.4.4條 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi) 更換高效空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。 地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標準，應(yīng)與整個送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并 應(yīng)易于除塵。

　　第4.4.5條 潔凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。

　　第4.4.6條 潔凈室內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。

　　第4.4.7條 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面的構(gòu)造和施工縫隙， 均應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　第4.4.8條 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)， 頂棚和墻面宜為0.6-0.8;地面宜為0.15--0.35。

　　第五節(jié) 裝配式潔凈室

　　第4.5.1條 在新建或改建的潔凈廠房設(shè)計中，對于面積不大、層高較低、 要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。

　　第4.5.2條 裝配式潔凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔 凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級不得低于二級。

　　第4.5.3條 裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內(nèi)壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建筑上?；仫L(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。

　　第4.5.4條 裝配式潔凈室設(shè)計應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配 式潔凈室的構(gòu)配件應(yīng)做到：連接構(gòu)造的整體性強、氣密性好，并便于組裝、拆卸、包裝和運輸。

　　第4.5.5條 裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外 圍建筑的墻壁。緊貼時，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應(yīng)封閉;靠近時，應(yīng)留有清 掃距離。當裝配式潔凈室時,壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面 之間凈寬不宜小于600毫米。

　　第五章　空氣凈化

　　第一節(jié)　一般規(guī)定

　　第5.1.1條潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應(yīng)符合下列要求：

　　一、潔凈室內(nèi)有多種工序時，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。

　　二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。

　　第5.1.2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。

　　第5.1.3條潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　一、滿足生產(chǎn)工藝要求

　　二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。

　　第5.1.4條潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的最大值;

　　一、亂流潔凈室總送風(fēng)量的10%～30%，層流潔凈室總送風(fēng)量的2～4%。

　　二、補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量。

　　三、保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

　　第5.1.5條潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。

　　第5.1.6條在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。

　　第二節(jié)　潔凈室正壓控制

　　第5.2.1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應(yīng)不小于9.8Pa。

　　第5.2.2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計算：

　　Q=q1·Σ(q·L) 　　　　　(5.2.2)

　　式中：Q--維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(米3/時);

　　a--根據(jù)圍擴結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1～1.2;

　　q--當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(米3/時·米);

　　L--圍擴結(jié)構(gòu)的縫隙長度(米)。

　　第5.2.3條圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量，可按表5.2.3采用。

　　壓差(Pa) 門　窗　形　式

　　非密閉門 密閉門 單層固定密閉木窗 單層固定密閉鋼窗 單層開啟式密閉鋼窗 傳遞窗 壁板

　　漏風(fēng)量(米3/時·米)

　　4.9 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3

　　9.8 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6

　　14.7 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8

　　19.6 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0

　　24.5 40 10 2.8 1.7 8.0 5.5 1.2

　　29.4 44 11 3.0 1.9 8.5 6.0 1.4

　　34.3 48 12 3.5 2.1 9.0 7.0 1.5

　　39.2 52 13 3.8 2.3 10.0 7.5 1.7

　　44.1 55 15 4.0 2.5 10.5 8.0 1.9

　　49.0 60 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0

　　第5.2.4條送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)軸和序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機，系統(tǒng)關(guān)閉時，則聞鎖程序應(yīng)相反。

　　第5.2.5條非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機，并應(yīng)對新風(fēng)進行處理。

　　第三節(jié)　氣流組組織和送風(fēng)量

　　第5.3.1 氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：

　　一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一。

　　二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部。

　　三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。

　　第5.3.2條潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表5.3.2選用。

　　第5.3.3條亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的最大值;

　　一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量。

　　二、按表5.3.2規(guī)定的送風(fēng)量。

　　三、根據(jù)熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量。

　　四、按空氣平衡所需要的送風(fēng)量。

　　第5.3.4條當生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設(shè)計應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。

　　第5.3.5條層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺;亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺，但其位置應(yīng)遠離回風(fēng)口。

　　第5.3.6條潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。

　　第四節(jié)　空氣凈化處理

　　第5.4.1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。

　　注1：100，000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

　　第5.4.2條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

　　第5.4.3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r，則不應(yīng)用回風(fēng)。

　　第5.4.4條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。

　　第5.4.5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：

　　一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。

　　二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。

　　三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。

　　四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。

　　五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。

　　六、高效空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠，易于檢漏和更換。

　　第5.4.6條送風(fēng)機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。

　　第5.4.7條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

　　第五節(jié)　采暖通風(fēng)

　　第5.5.1條潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：

　　一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖，100，000級潔凈室，不宜采用散熱器采暖。

　　二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進行間接采暖。或采用間歇運行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，值班風(fēng)機系統(tǒng)進行熱風(fēng)采暖。

　　第5.5.2條散熱器應(yīng)采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式。

　　第5.5.3條潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置、排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。

　　第5.5.4條局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨設(shè)置：

　　一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

　　二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。

　　三、所排出的有害物毒性相差很大。

　　第5.5.5條潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)采取下列措施：

　　一、防倒灌措施。

　　二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。

　　第5.5.6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。

　　第5.5.7條潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時15～20次。 事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點，并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報警裝置。

　　第六節(jié)　風(fēng)管和附件

　　第5.6.1條風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進行清潔處理，并在適當位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。

　　第5.6.2條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置防火閥。

　　第 5.6.3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。 潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

　　第5.6.4條在中效和高效的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

　　第5.6.5條排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管，其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和游泳場材料及其粘結(jié)劑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。

　　第六章 給水排水

　　第一節(jié) 一般規(guī)定

　　第6.1.1條 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、　地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。潔凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。

　　第6.1.2條 潔凈廠房內(nèi)的管道外表面，如可能結(jié)露，應(yīng)采取防結(jié)露措施。

　　第6.1.3條 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管 之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　第5.1.4條 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應(yīng)為 非燃燒體管材。

　　第二節(jié) 給水

　　第6.2.1條 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各 項用水對水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，分別設(shè)置直流、循環(huán)或重復(fù)利用的給 水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。

　　第6.2.2條 管材的選擇，應(yīng)符合下列要求：

　　一、純水管、高純水管應(yīng)采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管;

　　二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管;

　　三、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接宜采用優(yōu)質(zhì)軟管;

　　四、管道的配件應(yīng)采用相應(yīng)的材料。

　　第6.2.3條 潔凈廠房內(nèi)可設(shè)置開水供應(yīng)設(shè)施;盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供應(yīng) 熱水;軟化水、純水管適應(yīng)預(yù)留清洗口;純水終端凈化裝置應(yīng)放在靠近用水點處。

　　第6.2.4條 潔凈廠房的周圍，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。

　　第三節(jié) 排水

　　第6.3.1條 潔凈廠房的排水系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質(zhì)、濃 度、水量等特點確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。

　　第6.3.2條 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必 須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。

　　第6.3.3條 100級、1000級潔凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏;如必須設(shè)置時，應(yīng) 采用有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。10，000、100，000級潔凈室內(nèi)允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。

　　第6.3.4條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管 材、管架及其附件。

　　第四節(jié) 消防設(shè)施

　　第6.4.1條 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類和建筑物耐火等級等 因素確定消防設(shè)施。

　　第6.4.2條 潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10升/ 秒，每股水量不應(yīng)少于5升/秒;

　　第6.4.3條 潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：

　　一、消火栓的水槍充實水柱，不應(yīng)小于10米。

　　二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為65毫米，配備的水帶長度不應(yīng)超過25米，水槍噴 嘴口徑不應(yīng)小于

　　19毫米。

　　第6.4.4條 潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時設(shè)置鹵代烷或 二氧化碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對設(shè)有貴重設(shè)備儀器或生產(chǎn)的火災(zāi)危險性 較大的潔凈室，以及當火災(zāi)發(fā)生時消防人員難以進入撲救的技術(shù)夾層和技術(shù)夾道 等部位，應(yīng)同時設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。

　　第七章　工業(yè)氣體管道

　　第一節(jié)　一般規(guī)定

　　第7.1.1條工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。 引入潔凈的支管宜明敷。

　　第7.1.2條高純氣體管道設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

　　一、根據(jù)計算確定管徑。

　　二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。

　　三、不宜設(shè)預(yù)留口。

　　四、不應(yīng)出現(xiàn)"盲管"等不易吹除的部位。

　　五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。

　　六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。

　　第7.1.3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　第7.1.4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護區(qū)內(nèi)。

　　第7.1.5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。

　　第7.1.6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高效氣體過濾器。

　　第二節(jié)　管道材料、閥門和附件

　　第7.2.1條根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：

　　一、氣體純度大小或等于99.999%時，應(yīng)采用不銹鋼管。

　　二、氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。

　　三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。

　　四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道;如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙 烯管、不得采用乳膠管。

　　第7.2.2條高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。

　　第7.2.3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

　　第三節(jié)　管道連接和清洗

　　第7.3.1條管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。

　　第7.3.2條管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

　　第7.3.3條 高純性氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進行清洗、脫脂等預(yù)處理。

　　第四節(jié)　安全技術(shù)

　　第7.4.1條 工業(yè)氣體管道設(shè)計的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定;

　　一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器。

　　二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置。

　　三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標志。

　　第7.4.2條潔凈室內(nèi)使用氫氣時，宜在室內(nèi)設(shè)置報警裝置。

　　第7.4.3條各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。